低溫等離子體技術(shù)是通過氣體放電所產(chǎn)生的高活性粒子與污染物分子發(fā)生碰撞，使其解離和氧化，從而達到廢氣凈化的目的。由于不同種類的化合物被解離和氧化所需要的能量不同，低溫等離子體技術(shù)對于不同種類的有機物和惡臭污染物的凈化效果存在差異，當處理有機廢氣濃度較高時，低溫等離子體一般不宜作為獨立的處理單元應(yīng)用，需與其他處理單元聯(lián)合使用，通常作為二級凈化單元方能取得較好的處理效果。

　　等離子凈化設(shè)備原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應(yīng)變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項具有*潛在優(yōu)勢的高新技術(shù)，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學科界的高度關(guān)注。

　　先利于*高磁對流對有機廢或無機廢氣進行快速列解分裂打短，再利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧。后通過臭氧發(fā)生器制造足夠的氧離子對廢氣進行氧化，達到讓廢氣生成二氧化碳和水的效果。